Authors S. K. Kwon, C. Lim, B. J. Cho, and J. C. Kim 
Journal/Conference J. Electrochem. Soc 
Date Feb. 1996. 
volume vol. 143 
Number no. 2 
Page pp. 639-642 

S. K. Kwon, C. Lim, B. J. Cho, and J. C. Kim, "Nano-trenched local oxidation of silicon isolation using island polysilicon grains", J. Electrochem. Soc., vol. 143, no. 2, pp. 639-642, Feb. 1996.