Authors B. J. Cho, S. A. Jang, Y. B. Kim, D. D. Lee, and J. C. Kim 
Journal/Conference J. Electrochem. Soc. 
Date Jan. 1997. 
volume vol. 144 
Number no. 1 
Page pp. 320-326 

B. J. Cho, S. A. Jang, Y. B. Kim, D. D. Lee, and J. C. Kim, "Anomalous field-oxide-ungrowth phenomenon in recessed LOCOS isolation structure", J. Electrochem. Soc., vol. 144, no. 1, pp. 320-326, Jan. 1997.