Authors H. Y. Yu, N. Wu, M. F. Li, C. Zhu, B. J. Cho, D. L. Kwong, C. H. Tung, J. S. Pan, J. W. Chai, W. D. Wang, D. Z. Chi, C. H. Ang, J. Z. Zheng 
Journal/Conference Appl. Phys. Lett. 
Date Nov. 2002. 
volume vol. 81 
Number no. 19 
Page pp. 3618-3620 

H. Y. Yu, N. Wu, M. F. Li, C. Zhu, B. J. Cho, D. L. Kwong, C. H. Tung, J. S. Pan, J. W. Chai, W. D. Wang, D. Z. Chi, C. H. Ang, J. Z. Zheng, "Thermal Stability of (HfO2)x(Al2O3)1-x on Si", Appl. Phys. Lett., vol. 81, no. 19, pp. 3618-3620, Nov. 2002.