Authors H. Hu, C. Zhu, X. Yu, A. Chin, M. F. Li, B. J. Cho, D. L. Kwong, P. D. Foo, M. B. Yu 
Journal/Conference IEEE Electron Device Lett. 
Date Feb. 2003. 
volume vol. 24 
Number no. 2 
Page pp. 60-62 

H. Hu, C. Zhu, X. Yu, A. Chin, M. F. Li, B. J. Cho, D. L. Kwong, P. D. Foo, M. B. Yu, "MIM capacitors using Atomic-Layer-Deposited high-K (HfO2)1-x(Al2O3)x dielectrics", IEEE Electron Device Lett., vol. 24, no. 2, pp. 60-62, Feb. 2003.