Authors M. B. Yu, Y. Z. Xiong, S. J. Kim, S. Balakumar, C. Zhu, M. F. Li, B. J. Cho, G. Q. Lo, N. Balasubramanian, and D. L. Kwong 
Journal/Conference IEEE Electron Device Lett. 
Date Nov. 2005. 
volume vol. 26 
Number no. 11 
Page pp. 793-795 

M. B. Yu, Y. Z. Xiong, S. J. Kim, S. Balakumar, C. Zhu, M. F. Li, B. J. Cho, G. Q. Lo, N. Balasubramanian, and D. L. Kwong, "Integrated high K (K~19) MIM capacitor with Cu/Low-K interconnects for RF application," IEEE Electron Device Lett., vol. 26, no. 11, pp. 793-795, Nov. 2005.