NEED Lab 에서는 박영민 박사과정의 학생의 담당하에 영남이공대 학생들에게 반도체 공정 실습을 진행하였다.
다음은 관련 기사이다.

KAISTAR Webzine 2010.8. 원문 링크 : http://kaistar.e-eyagi.com/Jinny_Board/Board/chk_content.asp?idx=164&table=keynote_board&page=1&search=&searchstring


반도체 공정 실습 교육 진행 , "역시 KAIST네요"

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▲영남이공대 10명의 학생들이 카이스트 실습 캠프에 참여했다.

“반도체기업의 공장에 가 본 적이 있지만, 거기선 반도체 공정 과정을 '바라보는' 견학일 뿐이었어요. 직접 실습해 볼 기회는 없었죠. 이번에 KAIST에서는 이론 교육은 물론이고 실습까지 할 수 있어서 학습에 큰 도움이 됐습니다."

KAIST에 평소보다 머리가 굵은 캠프생들이 찾아왔다. 영남이공대학(총장 이호성) 전자정보계열 학생들. 고수는 고수를 알아본다고 반도체 전공자들인 학생들이 KAIST를 보는 눈이 빛난다. 그들은 반도체 공정 장비를 완비해 이론과 실습을 함께 병행할 수 있는 KAIST 교육 인프라에 감탄하며 적극적으로 실습에 참여했다.

박재정 영남이공대 전자정보계열 교수의 인솔 하에 학생 10명이 지난 7월 12일부터 13일까지 KAIST를 방문, 반도체 공정교육을 받았다. 영남이공대학은 대구에 위치한 전문대학으로 특히 반도체 관련 산업체에 우수한 인재를 공급하고 있다.

이번 캠프는 영남이공대학 전자정보계열 학생들이 전공 학습에 도움을 받기 위해 KAIST에 정식으로 실습교육을 요청, 이를 KAIST가 흔쾌히 수락하면서 성사됐다. KAIST가 외부 대학생들을 대상으로 반도체 공정교육을 실시하는 것은 영남이공대가 처음. KAIST의 교육인프라를 타 대학에게 지원한다는 점에서 의미가 크다.

반도체 분야는 반도체 장비의 특성상 교육을 위한 실험실습공간을 제작하는데 많은 비용이 든다. 보통 40∼50억원의 고가 장비가 필요하기 때문에 KAIST를 비롯한 일부 대학에만 실습실을 갖추고 있다.

◆ 영남이공대 학생들, 진지한 자세로 공정 과정 실습…"KAIST, 괜히 이공계 최고대학이 아니네요"

영남이공대학 학생들은 이틀에 걸쳐 MOS 캐패시터(Metal Oxide Semiconductor capacitor) 공정 과정을 실습했다.

실습 첫 날인 12일에는 KAIST의 무균실 화이트 룸(White room)에서 실리콘 웨이퍼에 산화막과 알루미늄을 입히는 작업을 완수하는 것이 목표.

먼저 학생들은 본격적으로 실습에 참여하기 전, 작은 먼저 알갱이도 침투하지 못하도록 방진복을 입는 체험을 했다. 먼지 입자는 반도체소자 회로보다 더 크기 때문에 자칫 반도체소자 회로를 망가뜨릴 수 있어 이를 방지하는 방진복을 입어야 한다. 학생들은 방진복을 입고 난후 '바이오 클린 룸 (Bio Clean Room)'에 들어가 혹시 몸에 붙어 있을지 모를 먼지와 각질까지 모두 제거한 후 마스크와 장갑도 착용했다.

이는 텔레비전에서 실험실이 나올 때면 의례 연출되는 장면 중 하나. 이들은 머리끝부터 발끝까지 하얗게 무장한 서로의 모습이 익숙하지 않은 듯 흥미롭게 과정 하나하나에 참여하며 즐거워했다.

White room에서 학생들은 실리콘 웨이퍼 표면에 묻은 불순물과 유기물, 금속 오염물을 4단계에 걸쳐 제거하고 웨이퍼에 산화막을 생성하는 작업에 참여했다.

세정작업은 각 단계가 끝날 때 마다 아무런 성분이 포함되지 않은 순수 H20(DI Water)로 7번씩 웨이퍼를 세척하는 등 까다로운 과정을 거쳤으며, 웨이퍼의 산화막은 약 1000도씨에서 생성되기 때문에 오랜 시간을 투자해야 했다.

둘째 날에는 청정실(Yellow room)에서 산화막 생성이 끝난 웨이퍼 표면에 알루미늄을 증착 시키는 작업이 이뤄졌다. 증착 작업이 끝난 후 설계회로도가 그려진 마스크에 빛을 투과시켜 빛에 닿은 감광액 부분과 그렇지 않은 부분으로 나뉘게 하는 포토리소그래피(Photolishography) 작업도 순차적으로 진행됐다.

실습실 이름이 ‘Yellow room’인 이유는 포토리소그래피 작업에 이용되는 노광 때문이다. 특정 빛에 의해 사라지는 화학 약품(PR:Photo Register)이 반응 하지 않게 파장이 가장 짧은 노란색 가시광선이 포토리소그래피 작업에 쓰여 방 전체가 노란 빛으로 가득하다.

‘White room’과 ‘Yellow room’을 거쳐 드디어 반도체 소자가 완성됐다. 학생들은 실험 전 요구했던 MOS 캐패시터 값이 나왔는지 떨리는 마음으로 측정해 보았다. 측정결과, 약간의 오차가 있었으나 요구했던 값과 근사한 값이 나왔음을 알게 됐다. 이틀간의 실습이 성공적으로 끝나 모두들 기뻐하는 모습을 보였다.

반도체 공정 실험에 참여했던 전자정보계열 3학년 권혁태 학생은 “KAIST를 방문하기 전까지  한국과학기술원이 다른 대학과 별반 차이가 없다고 생각했지만 짧은 기간이나마 KAIST를 체험하고 나니 ‘역시’ 이공계 최고의 교육기관임을 알게 됐다”고 소감을 밝혔다.

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▲방진복을 입고 반도체 공정을 직접 체험하고 있다.

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▲'Yellow room'에서 포토리소그래피 작업 중이다.


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written by  Kaistar    2010-08-06   
  • [PRESS] NEED 연구실 유연 열전 반도체 소자, YTN 사이언스에 방영


    우리 연구실에서 개발한 유연 열전 반도체 소자가 YTN 사이언스에 소개 되었습니다. 아래는 관련 자료 및 영상 링크 입니다. 2018년 1월 18일 YTN 사이언스

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  • [PRESS] NEED 열전분야 - TEGway, Renewable energy global innovation 지에 소개

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    Renewable energy global innovation 지에 우리 기술과 함께 TEGway가 소개되었습니다. 기존 논문과 함께 wearable thermoelectric generator의 상용화에 대해 언급하고 있습니다.

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  • [PRESS] NEED 열전팀 해외 메이저 언론 보도

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    우리 연구실에서 개발한 '유리섬유를 이용한 유연 열전 발전소자'가 2014년 5월 14일 해외 주요 외신들에 보도되었습니다. 아래는 관련 자료입니다.

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  • NEED Lab 박사 과정 김선진학생, Energy & Environmental Science 투고 논문 This week's Hot article에 선정

    By Administrator - May 14. 2014.
    "A Wearable Thermoelectric Generator Fabricated on a Glass Fabric"이 Energy & Environmental Science의 This week's Hot article & The Most Read Articles for the last 30 days에 선정 되었습니다. 링크 : ht...

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  • NEED Lab 신윤상 박사, 2014 Symposium on VLSI Technology에 논문 선정

    By Administrator - Mar. 27. 2014.
    NEED LAB, 신윤상 박사의 논문 "Demonstration of Ge pMOSFETs with 6 Å EOT using TaN/ZrO2/Zr-cap/n-Ge(100) Gate Stack Fabricated by Novel Vacuum Annealing and in-situ Metal Capping Method" 이 "2014 Sympo...

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  • NEED Lab 박종경 박사, 2014 Symposium on VLSI Technology에 논문 선정

    by Administrator - Mar. 27. 2014.
    NEED LAB, 박종경 박사의 논문 "Surface-controlled Ultrathin (2 nm) Poly-Si Channel Junctionless FET towards 3D NAND Flash Memory Applications" 이 "2014 Symposium on VLSI Technology" 에 선정 되었습니다....

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  • NEED Lab 문정훈 박사, Nanoscale 투고 논문 This week's HOT articles에 선정

    By Administrator - Nov. 26. 2013.
    NEED LAB 문정훈 박사의 공동연구논문 "Penetration and lateral diffusion characteristics of polycrystalline graphene barriers" 이 Nanoscale의 This week's HOT articles에 선정되었습니다.

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  • NEED 연구실, 미국 공학교육학회(ASEE) 총회 공식 홍보 영상 모델로 선정

    By Administrator - Oct. 08. 2013.
    우리 연구실이 미국 공학교육학회(ASEE) 총회의 공식 KAIST 홍보 영상 모델로 선정되었습니다. 해당 영상은 KAIST 공식 홍보 영상으로도 채택되어, 외국 손님들 방문 시 사용되고 있습니다.

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  • [PRESS] NEED 연구실 외신 보도 자료 : Nanowerk

    By Administrator - Oct. 30. 2012.
    NEED 연구실에서 최근에 Nanotechnology 에 게재된 "Electro-Magnetic Interference (EMI) Shielding Effectiveness of Monolayer Graphene"에 관한 연구결과가 외신에 소개 되었습니다. 다음은 보도 자료 전문 입니다

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  • [PRESS] "저비용 그래핀 분리 기술 개발" 뉴스 보도 자료

    By Administrator - Apr. 02. 2012.
    그래핀을 실용화하기 위한 친환경 분리기술이 국내 연구진에 의해 개발됐다. 교육과학기술부는 한국과학기술원의 김택수 교수와 조병진 교수 연구팀이 공정단계의 복잡성을 줄이고 폐기물이 발생하지 않는 저비용 그...

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  • NEED Lab 박사 과정 박종경 학생, 2012 Symposium on VLSI Technology에 논문 선정

    By Administrator - Mar. 26. 2012.
    NEED LAB 박사 과정, 박종경 학생의 논문 "Dramatic Improvement of high-K Gate Dielectric Reliability by Replacing Metal Gate Electrode with Mono-Layer Graphene" 이 "2012 Symposium on VLSI Technology" 에...

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  • 세계 첫 금속과 그래핀 사이 접합에너지 규명!

    By Administrator - Mar. 16. 2012.
    국내 연구진이 '꿈의 신소재'로 불리는 그래핀생산 비용을 절반 이하로 낮추는 획기적인 기술을 개발했다. 교육과학기술부는 KAIST(한국과학기술원) 김택수·조병진 교수 연구팀이 금속 위에서 매우 얇고 넓게 합성한 ...

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  • 2011년 카이스트 10대 신기술 선정 : 그래핀 메모리 소자

    By Administrator - Dec. 19. 2011.
    KAIST 전기 · 전자공학과 선정 '올해 10대 신기술'에 NIT 연구실에서 개발한 그래핀 메모리 소자가 선정되었습니다. KAIST 전기 및 전자공학과(학과장 김정호)가 전자 분야에서 개발한 '2011년 10대 신기술'을 선정,...

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  • [PRESS] NEED 연구실 그래핀 전극 플래시 메모리 소자, YTN에 방영

    By Administrator - Dec. 11. 2011.
    최근 우리 연구실에서 개발한 그래핀 전극을 이용한 플래시 메모리가 YTN 뉴스에 소개 되었습니다. 아래는 관련 영상 입니다. 2011년 12월 9일 YTN 뉴스

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  • 그래핀 기반 차세대 메모리 소자 개발

    By Administrator - Nov. 22. 2011.
    NEED Lab에서는 박종경 박사과정 학생이 그래핀을 전극으로 이용한 플래쉬 메모리 소자를 개발하였으며, 이 연구결과는 나노과학 분야 권위있는 국제 학술지 'Nano Letters'에 22일자에 발표되었습니다. 저장시간 1...

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  • NEED Lab, 글로벌 프론티어 사업 (사업명 : 나노기반 소프트 일렉트로닉스 연구) 에 선정

    By Administrator - Sep. 05. 2011.
    NEED 연구실이 핵심과제책임으로 참여하는 글로벌 프론티어 사업 (사업명 : 나노기반 소프트일렉트로닉스 연구) 에 최종 선정되었습니다. 이 사업은 2011 년 11월부터 9년간 총 1000억원 가량의 연구비가 투입되는 대...

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  • NEED Lab 박사 과정 홍슬기 학생, Virtual Journal of NanoScale Science & Technology에 논문 선정

    By Administrator - Sep. 05. 2011.
    NEED LAB 박사 과정, 홍슬기 학생의 논문 "Analysis on switching mechanism of graphene oxide resistive memory device" 이 "Virtual Journal of NanoScale Science & Technology" 에 선정 되었습니다. 축하합니다.

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  • NEED Lab 박사 과정 신우철 학생, Virtual Journal of NanoScale Science & Technology에 논문 선정

    By Administrator - Apr. 22. 2011.
    NEED LAB 박사 과정, 신우철 학생의 논문 “Highly air-stable electrical performance of graphene field effect transistors by interface engineering with amorphous fluoropolymer” 이 "Virtual Journal of Nano...

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  • 국회, 대한민국 그래핀 육성방안 토론회 개최

    By Administrator - Apr. 13. 2011.
    2011년 4월 8(금)일 국회의원회관 소회의실에서 강길부 의원의 주최로 “대한민국 그래핀 육성방안 토론회” 가 성황리에 개최되었다. 그래핀의 노벨물리학상 수상자 콘스탄틴 노보셀로프 박사를 비롯하여 홍순형 ...

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  • 그래핀연구회 (Graphene Research Society) 출범

    By Administrator - Apr. 04. 2011.
    지난 2011년 4월 1일, 2nd Korea Graphene Research Society Meeting 그래핀연구회 창립 총회가 열렸습니다. 이번 모임은 그래핀 연구회 창립을 선언하는 뜻깊은 자리로써 이후종 그래핀 연구회장, 조병진 탄소학회 ...

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  • NEED Lab, 2010년도 “도약 전략 연구 사업 (구, 국가지정 연구실)” 에 선정

    by Administrator - Sep. 15. 2010.
    NEED 연구실이 2010년도의 “도약 전략 연구 사업 (구, 국가지정 연구실 사업)” 에 선정되었습니다. 연구주제는 “고성능 그래핀 소자 집적회로 기술 개발” 입니다. 축하합니다.

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  • NEED Lab, 삼성종합기술원과 '그래핀 소자의 gate dielectric에 관한 연구' 과제 협약

    by Administrator - Sep. 01. 2010.
    NEED 연구실이 삼성종합기술원과 그래핀 소자의 gate dielectric 에 관한 연구과제 협약을 체결하였습니다. 축하합니다.

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  • NEED Lab, 삼성전자와 '차세대 로직 소자 기술인 Ge FET 기술 개발' 연구과제 협약

    by Administrator - Aug. 15. 2010.
    NEED 연구실이 삼성전자와 차세대 로직 소자 기술인 Ge FET 기술 개발에 관한 연구과제 협약을 체결하였습니다. 축하합니다.

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  • NEED Lab, 삼성전기와 '새로운 열전소자 제작 기술' 공동연구 협약

    by Administrator - Aug. 01. 2010.
    NEED 연구실이 삼성전기와 새로운 열전소자 제작 기술에 관하여 공동연구를 협약하였습니다. 축하합니다.

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  • NEED Lab, ‘에너지분야 기반형 녹색 원천기술 개발’ 사업에 선정

    by Administrator - Aug. 01. 2010.
    NEED 연구실이 ‘에너지분야 기반형 녹색 원천기술 개발’ 사업에 선정되었습니다. 이 사업은 KIST 가 hub 가 되고 KAIST, 서울대학교, 고려대학교, 연세대학교의 네 학교가 Spoke 의 형태로 연구팀이 구성되어 있습니...

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  • 대학생도 KAIST에 캠프를?…영남이공대 학생들의 특별한 방문

    by Administrator - Aug. 09. 2010.
    NEED Lab 에서는 박영민 박사과정의 학생의 담당하에 영남이공대 학생들에게 반도체 공정 실습을 진행하였다. 다음은 관련 기사이다.

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  • 나노종합팹센터­, 하이닉스 · 주성 등과 공동연구

    By Administrator - Mar. 14. 2008.
    나노종합팹센터(소장 이희철)는 13일 KAIST에서 차세대 반도체기술 개발과 산업화 지원을 위해 산학연이 공동으로 참여하는 컨소시엄 형태의 공동연구프로젝트를 수행하기로 하는 협약을 체결했다.

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